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佳能纳米压印光刻装置:制造5nm芯片,耗电量仅为传统十分之一

2024-03-28 12:13:06 手机促销 作者:赵明明

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在科技飞速发展的我们是否已经准备好迎接5nm芯片的到来?佳能纳米压印光刻装置,这个被誉为制造5nm芯片的神器,能否真正实现其耗电量仅为传统十分之一的承诺?这是否会成为推动半导体行业向前发展的关键因素?让我们一起探索这个问题。

[我们的技术新闻]我们的佳能公司在半导体制造领域取得了重大突破,其纳米压印(NIL)技术成功商业化,性能接近阿斯麦的极紫外线(EUV)曝光装置。

佳能公司的纳米压印技术具有出色的图案制造能力。通过将纳米级图案像盖章一样刻在掩膜上,然后转移到晶圆上,该技术可以绘制5纳米半导体工艺所需的最小线宽为14纳米的电路图案。这种能力使纳米压印装置在制造复杂图案时具有显著的优势,因为即使是复杂的图案也可以在单次曝光中完成转移,从而大大简化了制造过程。

同时,佳能纳米印刷技术在能耗方面表现良好。与EUV曝光装置相比,纳米印刷装置的功耗仅为前者的十分之一。这是因为纳米印刷的制造过程相对简单,不需要像EUV曝光那样使用高能耗的光源和复杂的反射系统。这种低能耗特性使纳米印刷技术在长期运行中具有更高的经济效益和环保优势。

佳能纳米压印技术也具有较低的成本优势。

虽然具体价格尚未公布,但由于纳米印刷装置的结构相对简单,其制造成本可能低于EUV曝光装置。这使得纳米印刷技术在市场推广和普及方面更具竞争力。

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佳能制造装置
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